アールエフ・テクノロジー SEMI F47
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||| SEMI F47 試験
IPC-480V-200Aは、今までの機器と比べて下記の優れた点を持ち合わせています。
- 小型化。従来機種の約1/3の大きさ、かつ。ブースター不要による測定スペースの確保が容易。
- 正確な波形。IGBT半導体スイッチ使用。
- PC接続による波形取り込み機能。
- サーキットブレーカーによる安全機能アップ。
- 電源ケーブル接続が1度でOK.。
ＥＵ市場へ製品を出荷される場合
SEMI F47-0706は、現在でも半導体プロセス製造装置を納入する際に必要条件とされている半導体製造メーカーが大勢を
占めております。半導体産業で使用する装置のための、電圧ライドスルー能力の最低限の設計要求を指定しています。
半導体産業で使用する装置のために最低限の設計要求を指定しています。
| エッチング装置 | 成膜装置（CVD＆PVD） |
| 熱装置 | 表面処理と表面清浄 |
| 露光装置（ステッパー＆トラック） | CMP装置 |
| イオン注入装置 | 計量装置 |
| 自動試験装置 |
| サグデプス | 50Hzにおける継続時間 | 60Hzにおける継続時間 |
| 50％ | 10cycles | 12cycles |
| 70％ | 25cycles | 30cycles |
| 80％ | 50cycles | 60cycles |
サグによる影響の一例
動作が停止した為、電流値が0[A]になる
IPC-480V-200Aは,電圧0%から125%、時間1サイクル（16.7ms or 20ms）から34secが可能なので,IEEE1100等のCBEMAカーブにも対応できます。
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